فلورسانی پرتو ایکس XRFجذب پرتو ایکس، تولید یونهای برانگیخته الکترونی می کند که به وسیله گذارهای الکترونی از ترازهای انرژی بالاتر به حالت پایه خود بازمی گردند. جذب، نشر، فلورسانی و پراش پرتو ایکس همگی در شیمی تجزیه کاربرد پیدا کرده است. دستگاههای مورداستفاده جهت این کاربردها اجزایی دارند که در عمل شبیه به پنج جز دستگاههای اندازه گیری طیف سنج نوری هس..